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1998

ACM成立于硅谷
成立上海公司

2005
2009

SK Hynix開始評估
在50nm下提高良率主要SAPS訂單源于SK Hynix

2011-2013
2015

YMTC,SMIC,和HLMC的SAPS訂單 TEBO經3D晶圖驗證
啟動納斯達克上市計劃

2016
2017

TEBO 裝機至 HLMC 11月3日IPO上市
R&D 中心在韓國建立 Tahoe評估P.O.

2018-1H
2018-2H

2018年收入5.50億元比2017年增長117%出貨量6.36億元凈利潤0.93億元第二工廠擴充產能
盛美臨港項目啟動改制成股份公司 2019年收入7.57億元比2018年增長37.5%出貨量8億元凈利潤1.35億元

2019
2020

盛美臨港研發與制造中心奠基及開工獲得首臺立式爐和刷洗機訂單發布18腔單片清洗設備、半關鍵系列清洗設備
發布高速銅電鍍技術、邊緣濕法刻蝕設備、單片高溫硫酸設備；11月18日，科創版上市

2021
2022

盛美上海推出新型化合物半導體設備系列、ALD立式爐、Track、PECVD等設備；完成出貨500電鍍腔及3000濕法清洗腔體的成就；前道銅互連電鍍設備榮獲第五屆“集成電路產業技術創新獎”。
盛美上海臨港研發與制造中心封頂；入選國家級第五批專精特新“小巨人”企業名單。

2023

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