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      盛美上海推出用于化合物半導體金蝕刻工藝的Ultra ECDP電化學去鍍設備
      
								
      
									
								
      
								
      2025-09-18
      

							
      
						
      
					
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      盛美上海首臺高產能KrF 工藝前道涂膠顯影設備Ultra Lith KrF系統順利交付中國頭部邏輯晶圓廠客戶！
      
								
      
									
								
      
								
      2025-09-08
      

							
      
						
      
					
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      盛美上海宣布對其用于先進芯片制造領域的Ultra C wb濕法清洗設備進行重大升級
      
								
      
									
								
      
								
      2025-07-25
      

							
      
						
      
					
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      盛美上海單晶圓高溫SPM設備通過驗證
      
								
      
									
								
      
								
      2025-03-04
      

							
      
						
      
					
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      盛美上海等離子體增強原子層沉積爐管設備通過初步驗證，原子層沉積爐管產品進一步強化
      
								
      
									
								
      
								
      2024-12-11
      

							
      
						
      
					
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      盛美上海前段半導體制造清洗設備Ultra C Tahoe取得重要性能突破
      
								
      
									
								
      
								
      2024-11-11
      

							
      
						
      
					
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