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      應(yīng)用于集成電路先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的平面和圖形晶圓
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      應(yīng)用于無損傷微小缺陷去除工藝,及更精細(xì)的高縱橫比的3D結(jié)構(gòu)
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      應(yīng)用于先進(jìn)集成電路制造,包括邏輯電路,存儲器以及功率器件制造
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      應(yīng)用于去膠和先進(jìn)清洗
    • 背面清洗設(shè)備

      應(yīng)用于背面清洗或者濕法刻蝕工藝
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      應(yīng)用于集成電路與晶圓級封裝領(lǐng)域
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