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先進的清洗技術如何助力先進節點實現更佳晶圓良率

2023-08-23
帶領電鍍行業發展

2023-03-23
推動Smart Megasonix智能升級

2023-03-09
濕法邊緣蝕刻和清洗工藝可提高晶圓產能

2022-11-02
可對碳化硅和硅襯底進行清洗的Post-CMP設備

我們在上一篇博文中深入闡述了碳化硅襯底芯片的崛起，以及解決其清洗難題的方法。鑒于碳化硅晶圓具有薄且易碎的固有特性，還易出現表面不均勻的現象，因此在加工和處理時需要特別小心，而我們所擁有的廣泛設備組合，可確保滿足這些需求。

2022-08-31
面臨SiC制造困境的設備制造商

碳化硅 (SiC) 襯底芯片已進入（超）快車道。汽車行業需要SiC芯片，以增加電動汽車(EV)的續航里程并縮短充電時間；電信行業希望將SiC芯片應用于6G；可再生能源行業則希望將其用于更有效地發電和儲存。

2022-05-27

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