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    盛美上海首臺前道ArF工藝涂膠顯影設(shè)備Ultra LITH順利出機
    
				
    2022-12-29 9:45:41
    
			
    
			
    
				

	

    近日盛美上海（科創(chuàng)板股票代碼：688082）首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的涂膠顯影Track設(shè)備Ultra LITH成功出機，順利向中國國內(nèi)客戶交付公司首臺前道ArF工藝涂膠顯影Track設(shè)備，該設(shè)備由盛美半導(dǎo)體設(shè)備(亞太)制造中心完成出貨，這是該公司提升其在涂膠和顯影領(lǐng)域內(nèi)專業(yè)技術(shù)的重要一步。
    

    
    此外，盛美上海將于2023年推出i-line型號設(shè)備，并且公司已開始著手研發(fā)KrF型號設(shè)備。前道涂膠顯影Track設(shè)備Ultra LITH的出貨是盛美上海持續(xù)拓展產(chǎn)品系列的又一成果，公司致力于成為晶圓級的工藝解決方案平臺，旗下產(chǎn)品還包括單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍設(shè)備、無應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備，及PECVD設(shè)備。
    
                                    

			
    
			
		
    
	
    

    

    
    
    
    
        
    
        
    
            
            
        
    
    
    
    
    


    





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