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      盛美半導體設備發布Ultra Furnace立式爐設備，進軍干法工藝市場
      
								
      
									盛美首臺立式爐產品首供LPCVD市場，未來將推廣至氧化，退火和ALD等目標市場
								
      
								
      2020-04-03
      

							
      
						
      
					
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      盛美半導體推出半關鍵清洗系列設備 拓寬Ultra C產品鏈
      
								
      
									作為集成電路制造與先進晶圓級封裝(WLP)領域中領先的設備供應商，盛美半導體設備（NASDAQ:ACMR）近日發布了三款用于晶圓正、背面清洗工藝的Ultra C濕法清洗系列設備。
								
      
								
      2020-03-12
      

							
      
						
      
					
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