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    • 槽式濕法清洗設(shè)備

      應(yīng)用于集成電路的濕法工藝
    • 電鍍設(shè)備

      應(yīng)用于雙大馬士革電鍍工藝
    • 電鍍設(shè)備

      應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體制造
    • 立式爐設(shè)備

      應(yīng)用于LPCVD、氧化、退火和ALD
    • PECVD設(shè)備

      應(yīng)用于邏輯和存儲芯片制造
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